隨著光電產業的蓬勃發展,各種光學薄膜陸續被開發出來。就涂布而言,這些光學薄膜產品的特點包括:
1.均勻度要求很高;
2.涂料黏度很低:涂料黏度可能<10cps;
3.厚度超?。?/span>
以抗反射膜為例,對單層涂布,當nd=λ/4 時,可得破壞性干涉,也就是反射率為0 ,其中n為涂層折射率,一般都在1~2 之間, d 為涂層厚度,λ為入射波波長, 介于400~700nm ,因此,涂層干膜厚度都小于0.2μm,可預期濕膜厚度可能低至1μm 。
因而要生產此類產品,就必須開發超薄涂布技術。圖一是各種可能的超薄涂布技術。
在成卷基材超薄涂布的各種可能方法中,將依續介紹微凹版印刷式涂布、張力基材擠壓式涂布、毛細管式涂布、水相表面展開式涂布等幾種方法;在非連續基材超薄涂布的各種可能方法中,旋轉涂布法(Spin Coating)為大家所熟知,擠壓式涂布法(Extrusion Coating)應用在LCD 光阻涂布,在此不多做說明,此一部分僅介紹液面彎曲式涂布。
以下即針對這些涂布方法加以說明。
因而要生產此類產品,就必須開發超薄涂布技術。
圖一是各種可能的超薄涂布技術。
在成卷基材超薄涂布的各種可能方法中,將依續介紹微凹版印刷式涂布、張力基材擠壓式涂布、毛細管式涂布、水相表面展開式涂布等幾種方法;
在非連續基材超薄涂布的各種可能方法中,旋轉涂布法(Spin Coating)為大家所熟知,擠壓式涂布法(Extrusion Coating)應用在LCD 光阻涂布,在此不多做說明,此一部分僅介紹液面彎曲式涂布。以下即針對這些涂布方法加以說明。
圖一
微凹版印刷式涂布
微凹版印刷式涂布是日本Yasui Seiki公司的專利技術,其結構如圖二(a),與傳統凹版印刷式涂布(圖二(b))相較,異同如下。
圖二(a)、圖二(b)